Contrôle statique en salle blanche
(1) Principes de base du contrôle statique
1 Déterminer le niveau de contrôle statique
2 Minimiser la génération de charge statique
3 Les méthodes de ventilation et de neutralisation accélèrent la dissipation de la charge statique et empêchent l'accumulation d'électricité statique
4 Protégez le produit des dommages causés par les décharges électrostatiques
(2) Déterminer le niveau de contrôle statique
1 Composants, composants et équipements indice de sensibilité électrostatique
Niveau 1: susceptible d'être endommagé par la tension électrostatique 0-1999V
Niveau 2: susceptible d'être endommagé par une tension électrostatique de 2000-3999V
Niveau 3: susceptible d'être endommagé par une tension électrostatique de 4000-5999V
Si la tension statique sensible est supérieure à 16 000 V, il n'est pas nécessaire de prendre des mesures antistatiques.
2 Classification de la zone de travail de protection électrostatique
Classe A: Laisser le potentiel électrostatique à la terre ne pas dépasser ± 100V
Classe B: Laisser le potentiel électrostatique à la terre ne pas dépasser ± 1000V
En ingénierie réelle, le potentiel électrostatique n’est pas supérieur à 100V, 500V, 1000V et aux autres composants, composants et équipements, niveau de tension sensible statique 3.
(3) minimiser la génération de charge statique
C’est la première étape dans le contrôle de l’électricité statique en trois étapes. Dans cet environnement de travail propre, les meilleures mesures sont les suivantes:
1 Essayez d’utiliser un équipement similaire pour réduire la charge électrostatique générée au cours du processus de séparation par friction de contact;
2 Essayez d'utiliser un équipement conduisant de l'électricité statique ou des matériaux qui dissipent l'électricité statique afin de réduire la charge statique accumulée générée par le processus de séparation par frottement de contact;
3 Essayez de réduire le processus de production en réduisant les frottements de contact et en générant une charge statique.
(4) libération et neutralisation
C'est la deuxième étape dans le contrôle de la triode d'électricité statique. La mesure la plus courante dans la salle blanche de la production microélectronique est la mise à la terre, la décharge de charge statique par des matériaux conducteurs ou dissipatifs et la charge statique chez les consommateurs ionisés.
1 sol
La salle blanche doit être équipée d'un système de mise à la terre électrostatique indépendant, comprenant un système de support en treillis métallique mis à la terre et un système de support au sol du poste de travail de la chaîne de production. Pour que le boîtier métallique de tous les équipements de la pièce, le support métallique des équipements mobiles, les équipements antistatiques, etc., déchargent efficacement et en toute sécurité la charge statique sur la terre et que l'électrification du travailleur soit mise à la terre à l'aide du bracelet antistatique, et les chaussures antistatiques ou la bride au talon sont antistatiques. Le sol est ventilé à la terre. Le sol, les murs, le plafond, la cloison, etc., sont mis à la terre et le boîtier de l'équipement, les équipements mobiles (voiture, chaise, étagère, etc.), l'établi, etc., sont mis à la terre.
2 ionisation Xiao électrique
Il est inévitable que certains conducteurs isolés ne puissent pas être mis à la terre dans les composants, les PCB, les lignes de production et les postes de travail de la salle blanche. Matériaux diélectriques isolants (tels que les plastiques les plus courants), dans certains environnements, les consommateurs d’ionisation sont souvent utilisés. Dissipant localement la charge statique sur ces objets, et le plus souvent par ionisation d'air pour neutraliser la charge électrostatique portée sur le milieu isolant et sur le conducteur isolé.
3 matériaux conducteurs statiques et dissipateurs statiques
Les matériaux conducteurs et les matériaux à dissipation statique sont également de bons matériaux de ressuage à charge statique en raison de leur conductivité électrostatique, et sont plus sûrs que le purge de conducteur métallique. Ils sont couramment utilisés comme sols, murs, établis et conteneurs de chiffre d’affaires. Équipements antistatiques tels que des pincettes et des pinceaux.
(5) Protection contre les décharges électrostatiques, protection des produits
C’est la dernière étape du contrôle en trois étapes de l’électricité statique. Dans la salle blanche de la production microélectronique, afin d'éviter que des décharges électrostatiques ne se produisent sur les composants sensibles aux décharges électrostatiques, les cartes à circuit imprimé, une méthode consiste à mettre à la terre correctement les composants et les composants. Le shunt doit "dissiper" la charge statique présente sur le produit; la deuxième méthode consiste à manipuler l'emballage et le transport du dispositif sensible aux décharges électrostatiques avec des méthodes et des matériaux d'emballage appropriés. Ces matériaux protègent efficacement la charge des intrusions dans le produit et réduisent les mouvements du produit dans l'emballage afin de créer une charge électrostatique.
À l'échelle internationale, les semi-conducteurs, les écrans plats à cristaux liquides, l'optoélectronique se développent rapidement et l'intégration va de plus en plus loin. Des copeaux de 8 "12" apparaissent, les diamètres des copeaux deviennent de plus en plus minces et les exigences antistatiques de plus en plus élevées, voir le tableau 4.
La ESD Association des États-Unis a commencé à réviser l'acier de contrôle des décharges électrostatiques ANS ESD S20.20-1999 et a apporté certaines modifications à la classification de sensibilité électrostatique SSD (voir tableaux 5, 6 et 7).
Ceci avertit l'utilisateur du composant que des exigences en matière de contrôle environnemental peuvent être requises, que la personne ou l'équipement soit en cours de fabrication. Si la tension admissible dans la zone EPA atteint 25 V, je crains que nos équipements, équipements, outils et ingénierie antistatiques existants ne travaillent durement.