Protection de l'environnement de l'industrie des semi-conducteurs
Au fur et à mesure que la conscience environnementale des gens augmente, le niveau d'attention porté aux questions de protection de l'environnement augmente également. Nous n'avons qu'une seule planète. Comment protéger notre cadre de vie tout en développant l'économie est devenu un sujet urgent. Réduire le fardeau sur l'environnement mondial, assurer la sécurité et la santé et protéger l'environnement. Économiser de l'énergie pour économiser des ressources, recycler les déchets, réduire les déchets et gérer le rejet de substances chimiques sont devenus un consensus pour protéger l'environnement. Parallèlement à la promotion de la certification ISO14000 et à l’objectif de la construction d’une usine verte du XXIe siècle, la population s’est activement mobilisée pour la protection de l’environnement. La particularité de l’industrie de la fabrication de semi-conducteurs a incité plusieurs industries à accorder une plus grande attention aux questions de protection de l’environnement.
Prévention de l'effet de réchauffement climatique
La prévention de l’effet de réchauffement planétaire de la Terre est devenue un sujet brûlant qui a fait l’objet de nombreuses préoccupations ces dernières années. Dans l’industrie de la fabrication de semi-conducteurs, il existe deux problèmes principaux:
1. économie d'énergie
Les équipements de fabrication, les équipements de climatisation et les équipements de source de froid / de chaleur de l'industrie des semi-conducteurs, ainsi que l'utilisation d'eau pure, de liquides, de gaz d'échappement, de gaz, d'équipements électriques, etc. fonctionnent en permanence 24 heures sur 24, 365 jours par an. et consomme beaucoup d’énergie. L'électricité et l'énergie représentent environ 85% du type de consommation d'énergie et 15%, les sources d'énergie telles que le carburant et la vapeur. En ce qui concerne l'utilisation de la consommation d'énergie, l'équipement de fabrication avant traitement est d'environ 40% à 50%, la climatisation, le matériel de source de froid / de chaleur d'environ 30% et les autres équipements auxiliaires d'environ 25%.
Économiser de l'énergie, réduire les coûts et améliorer la compétitivité des produits sont des tâches que les entreprises mettent en œuvre depuis longtemps. D'une part, grâce à la transformation technologique des équipements existants, d'importants avantages économiques peuvent être obtenus, mais d'autre part, les investissements dans les usines de semi-conducteurs sont maintenant énormes, le développement de la technologie est extrêmement rapide. En tant qu'industrie des semi-conducteurs, l'orientation future de la recherche en matière de conservation de l'énergie devrait porter sur les aspects suivants:
Matériel de fabrication: améliore l'efficacité de la conversion d'énergie et donc l'utilisation de l'énergie pour atteindre des objectifs d'économie d'énergie; réduire la consommation d'énergie en mode veille, réduire d'autant la charge de climatisation afin de réaliser des économies d'énergie; réduire la capacité d'échappement de l'équipement La charge de traitement des gaz d'échappement est réduite afin de permettre des économies d'énergie; la zone d'installation de l'équipement est réduite pour contrôler la zone de la zone d'épuration afin de réaliser des économies d'énergie.
Equipements auxiliaires: miniaturisation des équipements; réduction de la superficie de la zone de purification élevée afin de réduire la consommation d'énergie de la circulation d'air afin d'économiser de l'énergie; utilisation d'un système de climatisation à faible perte de charge; utilisation de nouveaux matériaux isolants pour favoriser le lissage de la consommation d'énergie; Utilisez le dioxyde de carbone généré pendant le processus de réduction de la consommation d'énergie.
Développement de produits et conception de processus: développement de produits à haute valeur ajoutée; développement de produits orientés vers les coûts (réduction de la surface de copeaux, normalisation des processus, raccourcissement du cycle de conception); augmentation de la production (augmentation du débit, réduction du nombre d'ingénieurs et réduction du temps de test).
Le développement de l'industrie des semi-conducteurs est lui-même devenu hautement performant, léger, mince et à faible consommation d'énergie. Contribué à la direction de l'économie d'énergie pour les machines et équipements. Nous attendons avec intérêt l'introduction de nouveaux équipements pour la conservation de l'énergie.
2. Réduire les PFC
Le PFC (PREFLUOROCARBON) est principalement utilisé en ingénierie CVD pour la fabrication de semi-conducteurs, en tant que gaz de nettoyage et en tant que gaz de traitement dans l’ingénierie de la gravure sèche. Les PFC ont été inclus dans la réduction des émissions en raison de leur capacité à détruire la couche d'ozone de la Terre. La plupart d'entre eux ne sont pas directement traités et rejetés directement dans l'atmosphère, et la réduction des émissions de PFC est un enjeu important pour le secteur de la fabrication de semi-conducteurs à l'avenir.
Les futures directions de recherche se concentreront sur les aspects suivants:
Mise au point d'un système de recyclage des PFC rejetés (indiquant comment recycler, séparer et raffiner de manière efficace et économique le PFC); mise au point de nouvelles technologies de traitement des PFC (conversion des PFC en émissions de gaz à effet de serre)); développement de gaz alternatifs (remplacement des gaz actuellement utilisés par des gaz ayant un faible coefficient de réchauffement global; développement de nouveaux procédés (recherche de nouveaux procédés de gravure).
Le plan du Japon visant à contrôler les émissions de PFC dans l'industrie électronique, annoncé en avril 1998, propose un objectif de réduction basé sur 1995. D'ici 2010, les émissions de chaque projet seront réduites de 70% pour la nouvelle ligne. La ligne est coupée de 10%. Les États-Unis ont également fixé un objectif de taux de récupération des PFC utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Ici, les acteurs de l'industrie nationale sont invités à prêter attention à cette question à un stade précoce.