Risques liés à l'électricité statique dans les salles blanches de microélectronique
L'augmentation de l'électricité statique réduira le taux de qualité des produits électroniques, les interférences électromagnétiques interrompront le fonctionnement des équipements automatiques et l'adsorption électrostatique augmentera la difficulté de collecter les particules de surface, il est donc également nécessaire de contrôler la génération d'électricité statique. Étant donné que les charges électrostatiques attirent les contaminants sur les surfaces des produits ou des outils, l’adsorption électrostatique devient un centre d’attention dans les salles blanches. Par exemple, lorsqu'une tranche de 4- pouces est chargée à 1 KV, la force d'adsorption des particules d'un diamètre de 1 micron atteindra 830 000 livres par pouce carré. Par conséquent, l’adsorption électrostatique entre les objets chargés et les particules sera plus forte que la gravité, les forces aérodynamiques et les forces d’adhésion.
Les principales manifestations des risques liés à l’électricité statique dans les ateliers propres de l’industrie électronique comprennent :
1. Absorbe la poussière. En raison de l'adsorption électrostatique, les particules d'air dans les salles blanches sont adsorbées sur les surfaces des composants électroniques et des murs, affectant la qualité et la propreté des produits. L’électricité statique est également devenue une nouvelle source de poussière dans les salles blanches.
2. Provoquer des incendies et des explosions. Une grande quantité de gaz, de liquides et de solvants organiques inflammables et explosifs sont utilisés dans les salles blanches de l’industrie électronique. L'électricité statique peut devenir la source d'inflammation de ces gaz (liquides) et solvants, provoquant des incendies ou des explosions.
3. La décharge corona, ou décharge par étincelle, émet du bruit et interfère avec les équipements électroniques et les composants électroniques.
4. Générez un champ électrique électrostatique, provoquant un court-circuit, de la fatigue ou des dommages aux composants électroniques.
Pour cette raison, l’amélioration continue de la technologie dans l’industrie microélectronique est également une manifestation de l’amélioration continue de la technologie antistatique. Le contenu des systèmes de protection électrostatique est de plus en plus abondant. Aux systèmes conventionnels de protection du personnel (vêtements antistatiques, chaussures antistatiques, bracelets antistatiques, etc.), aux systèmes de protection matérielle tels que les équipements d'élimination statique, il faut ajouter davantage la mise en place de systèmes logiciels de protection électrostatique.