Analyse de l'électricité statique dans les chambres propres
① Un grand nombre de matériaux décoratifs diélectriques à haute isolation, de planchers, de murs, de portes, de plafonds, de cloisons, de réseaux, de chaises, etc., ces matériaux sont facilement chargés par frottement et ne sont pas faciles à fuir et à libérer.
Le plancher en plastique ESD dans la salle de photolithographie est de 5 0 0v ~ 1000V, le plancher en plastique dans la salle de diffusion est de 500V ~ 1500V, le sol en carrelage est également 500V ~ 1500V, le fond d'écran en plastique est de 700V, le plafond en plastique est de 0V ~ 1000V, et la surface de la chaise en cuir mobile métallique est de 500V ~ 3000V.
② Lorsque les gens portent des vêtements propres, des chaussures, une marche ou un travail, ils généreront de l'électricité statique lorsqu'ils frottent contre différents matériaux et équipements, et les personnes, les vêtements et les chaussures seront chargés.
Les gens portant des vêtements en nylon ESD et des chaussures en caoutchouc en plastique ESD marchent lentement sur le sol propre, et ils portent 7000v ~ 8000V Tension statique. La marche sur un plancher vinyle peut transporter 1200 V (10% ~ 20% RH), 250 V (65% ~ 90% RH) Tension statique, la marche sur le tapis peut transporter 35000v (10% ~ 20% RH), 1500 V (65% ~ 90% RH), et les vêtements de travail portés par les travailleurs sur la chaîne de monticule peuvent atteindre 10 kV.
③ Le flux d'air de climatisation passe par le filtre primaire, le filtre moyen et le filtre à haute efficacité, et le débit d'air de sortie purifié est chargé statiquement. Les prises d'alimentation et de retour d'air en aluminium sont d'environ 500 à 1000 V.
④ Un grand nombre d'équipements, d'équipements et d'outils isolants sont également des sources importantes de charge statique. Ligne de production d'assemblage de plaquette: Boîte de chargement de plaquette 35KV, couvercle en verre organique 8kV, produits en quartz 1,5 kV, plateau de plaquette 6 kV, couvercle acrylique 20kV, table de table 10kV, armoire de rangement en plastique 30kV, boîte de chargement en cristal en fibre de verre glissant sur le polypropylène de table de table de table de table de table 10kV. En bref, plus les exigences de propreté de la salle blanche sont élevées, plus la charge statique sera grave.