Effets de décharge électrostatique (ESD)
1.1 Problèmes ESD
La décharge électrostatique (ESE) est le transfert incontrôlé de charge entre deux objets de potentiels électrostatiques différents. Le résultat le plus courant des décharges électrostatiques est la détérioration des produits sensibles à l'électricité statique et la défaillance de l'équipement. Dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique, ainsi que dans la fabrication de dispositifs médicaux ou optiques, les films de supports d'enregistrement, de tels cas se produisent souvent. Afin de réduire les pertes causées par les décharges électrostatiques, il est recommandé d'utiliser un établi antistatique pendant le fonctionnement pour garantir la sécurité de la production.
1.2 ESD de préoccupation dans l'industrie
Dans la production de l'électronique à semi-conducteurs, la géométrie de l'appareil devient de plus en plus petite afin de répondre aux besoins de miniaturisation, de performances supérieures et de rapidité d'exécution. Cela se traduit par une densité plus élevée des dispositifs discrets sur la tranche de semi-conducteur, et les événements ESD provoquent des dommages ou des défaillances du dispositif par le biais de divers mécanismes tels que la fusion, la gazéification d'une ligne de revêtement de métal, des traversées d'oxyde mince, etc. Les événements ESD peuvent également dégrader la qualité du périphérique, créant ainsi un défaut potentiel ou un "fonctionnement défectueux". Bien que le périphérique puisse réussir le test de production, il échouera prématurément.
Les industries des films minces médicaux, optiques et diélectriques sont également appelées "charges statiques ou décharges électrostatiques". Lorsqu'un film est déposé sur un substrat, un événement électrostatique peut endommager le produit à tout moment.
1.3 Impact de l'EDD sur le fonctionnement des équipements
La décharge électrostatique endommagera non seulement le produit, mais les événements liés à la décharge électrostatique affecteront également l'équipement de production du produit. Les fonctions de contrôle de nombreux équipements de production utilisent des microprocesseurs et les événements ESD peuvent également affecter les équipements de production du produit. Les fonctions de contrôle de nombreux équipements de production utilisent des microprocesseurs, des effets de rayonnement perturbateurs électromagnétiques (EMI) ou des effets de conduction générés par des événements de décharge électrostatique qui peuvent interférer avec le fonctionnement de ces équipements. Les interférences électromagnétiques générées par un événement ESD sur un périphérique peuvent affecter le fonctionnement des périphériques à proximité.
Du fait de l’automatisation croissante des salles blanches, leur fonctionnement est souvent contrôlé par un système de gestion d’usine (FMS) informatisé. Lorsqu'un événement ESD provoque un problème de données avec un seul périphérique, l'ensemble du fonctionnement de l'installation est affecté. Bien que l’arrêt de la machine ne soit généralement pas un problème catastrophique, il peut en résulter des temps morts, une vitesse de traitement réduite et parfois une perte de produit. L'inefficacité du processus de production augmente les coûts de production.