Le mal de l'électricité statique dans la salle blanche
Semi-conducteurs, écrans plats, optoélectronique et autres salles blanches, malgré des efforts considérables, les problèmes électrostatiques en salle blanche ont toujours une incidence sur la sécurité de la production et le rendement du produit, affectant ainsi les coûts et les avantages de la fabrication, ainsi que la qualité et la fiabilité du produit.
1. Force de Coulomb électrostatique
Sous l'action de la force de Coulomb électrostatique, la poussière et la saleté adsorbées provoquent des fuites des composants ou la formation d'un court-circuit, ce qui nuit aux performances et réduit considérablement le rendement et la fiabilité. Si la taille des particules de poussière est supérieure à 100 µm, si la largeur du fil d'aluminium est d'environ 100 µm et si l'épaisseur du film d'oxyde est de 50 µm, le produit risque fort d'être mis au rebut. Maintenant, le diamètre du fil est plus fin, le film d'oxyde est très fin et les particules de poussière de petite taille endommageront les composants. Cela se produit principalement dans les processus de nettoyage par corrosion, de photolithographie, de soudage par points et d’emballage.
2, décharge électrostatique ESD
(1) Le film d'oxyde isolant du composant est cassé et le fil est soufflé ou la ligne est soufflée. Si le corps humain supporte une charge statique de 10KV (100PF), une ESD se produit lorsque vous touchez le dispositif et le courant de décharge d'impulsions atteint un maximum de 20 A (10 ~ 100 s) peut être formé instantanément à la Terre, sans parler de haute densité, fin. diamètre du fil, film mince de SiO2. Lsi, Vlsi, est le général IC, MOS va subir des dommages.
D'une manière générale, l'intensité du champ de tension de maintien du film de SiO2 à porte isolante du dispositif est E = (5-10) × 106V / cm. Si l'épaisseur de film du périphérique SiO2 est de 1000, la tension statique de 50 V-100 V ou plus sera atteinte lors de l'application de la broche d'entrée du périphérique. Porter, et le corps avec l'électricité statique plus de 50V, 100V est très commun.
(2) causer du bruit et émettre des interférences électromagnétiques
Les décharges électrostatiques (ESD) provoquent une crête brusque avant et après l'onde électromagnétique et le signal est puissant, ce qui équivaut à quelques volts d'énergie dans le circuit. La fréquence couvre quelques MH2, voire des centaines de MH2, de forts bruits pouvant endommager les composants, les équipements et les capteurs ne fonctionnant pas correctement, voire même provoquer un crash du périphérique.
Les EMI provoqués par ESD provoquent également une entrée d'un signal d'erreur ou un phénomène de verrouillage. Dans une salle blanche, la boîte EMIF de la plaquette est placée sur un chariot en acier et l'ESD de la plaquette est transmise au chariot par l'intermédiaire de l'inducteur. La roue est isolée et la diffusion de l'EMI provoque le crash du manipulateur de plaquettes.
(3) choc électrique sur le corps humain
Lorsque l'EDD du corps humain ou l'EDD du corps humain dépasse le courant de choc électrique de 5 mA ou plus du corps humain, les personnes ressentent divers types de blessures, provoquant une anxiété émotionnelle et des erreurs de fonctionnement du personnel.
Les salles blanches telles que les semi-conducteurs, les écrans plats et l’optoélectronique ont beaucoup travaillé, mais les problèmes statiques qui règnent dans les salles blanches affectent toujours la sécurité de la production et le rendement du produit, affectent les coûts et les avantages de la fabrication, ainsi que la qualité et la fiabilité du produit. Selon des experts industriels étrangers, la perte annuelle de produits due à l'électricité statique aux États-Unis est en moyenne de 8 à 33%. Certaines personnes estiment que les dommages annuels causés à l'industrie électronique aux États-Unis s'élèvent à 10 milliards de dollars. Dans les années 1980, le Japon a analysé les produits électroniques mis au rebut. La perte causée par l'EDD représente 1/3. Les semi-conducteurs, les écrans plats à cristaux liquides, l'optoélectronique, etc. en Chine ont tous commencé tardivement, mais des risques électrostatiques se produisent également de temps à autre et le rendement est faible. Banques, sociétés de valeurs mobilières, bases de données confidentielles, centres de surveillance, centres de répartition de l'énergie, etc., si une décharge électrostatique se produit, il est facile de provoquer des interférences et les données sont perdues, la situation est encore plus grave.