Adsorption électrostatique des fan ion
Dans l’industrie du LCD, le substrat de verre devient plus grand et la capacité d’attirer des frais est également améliorée. En raison de la grande taille du substrat, toute contamination peut entraîner une diminution du rendement. Comme d’autres industries de contrôle de la pollution, l’industrie du LCD a recherché de nouveaux matériaux qui peuvent résoudre les problèmes de l’EDD. Matériaux utilisés dans les salles blanches sont également plus susceptibles d’utiliser des ventilateurs ionique antistatique et nouveaux matériaux peuvent être essayées sur écouvillons en coton et chiffons au lieu des matériaux traditionnels.
Le plus gros problème avec la commande ESD dans une salle blanche est la circulation des personnes dans la salle blanche. Parce que les gens portent un grand nombre de tissus en polyester, elles génèrent beaucoup de charge électrique. La seule manière de supprimer ces frais dans une salle blanche est à la terre.
Au cours des cinq dernières années, il a été constaté qu’un système de vêtement composé d’un mélange de fibre de carbone et tissu offre des conditions de salle blanche ISO 5 (classe 100).
Chaque partie du vêtement a la même conductivité électrique et dispose d’une connexion conductrice de la hotte à la semelle. Personnes qui travaillent dans une salle blanche peuvent marcher à travers la semelle conductrice sans mise à la terre lorsque le port de ces vêtements, afin qu’ils ne sont pas limités par la longueur de la fil de terre.
L’émergence de ces vêtements de travail est le résultat de la forte demande sur le produit, ce qui contribue à réduire le faible rendement et le taux élevé de mauvais causés par des problèmes de l’EDD dans la salle blanche.
Il n’y a aucune méthode de réparation rapide et bon marché pour le contrôle du ventilateur ESD ion. La clé consiste à contrôler l’ESD, tel qu’un ventilateur d’ion suspendu à flux laminaire, ou installer un ventilateur ion à côté de la matière qui a besoin de contrôle ESD. Diminution de la taille de la puce (IC), il devient plus sensible à l’EDD. Maintenant, le contrôle de l’EDD n’est pas limité à la protection du réseau de travail, mais aussi le contrôle de la plaquette et le personnel qui produisent la plaquette. Beaucoup d’entreprises avec des normes élevées contrôlent ESD de cette façon.
