Quel est le risque de l'électricité statique pour les emballages IC
Quel est le risque de l'électricité statique pour les emballages IC? Tout d'abord, la cause de l'électricité statique peut être vue partout. Avec le développement rapide de la science et de la technologie et le degré élevé d'automatisation de la production industrielle, les dangers de l'électricité statique dans la production industrielle sont déjà évidents. Cela peut engendrer divers obstacles, limiter l'amélioration du niveau d'automatisation et affecter la qualité des produits. Voici les principales raisons de la génération d'électricité statique en combinaison avec la situation réelle de notre usine dans le processus de conditionnement et de production des circuits intégrés.
1. Les matériaux à haute résistance sont principalement utilisés pour les matériaux de construction et de décoration dans les ateliers de production
Le processus de production IC nécessite l'utilisation d'un atelier propre ou d'un atelier ultra-propre. La granulométrie des particules de dépoussiérage doit être modifiée de 0,3 μm à 0,1 μm, et la densité des particules de poussière est d'environ 353 particules / m3. À cette fin, en plus de l'installation de divers équipements de dépoussiérage, des matériaux inorganiques et organiques sans poussière doivent être utilisés pour éviter la poussière. Cependant, la performance électrique des matériaux de construction n'est pas considérée comme un indicateur. Il n'y a aucune disposition dans les spécifications de conception pour les ateliers propres des entreprises industrielles. Les matériaux de décoration intérieure principalement utilisés dans l'atelier propre de l'usine IC sont: sol élastique en polyuréthane, nylon, plastique dur, polyéthylène, papier peint en plastique, résine, bois, plaque de porcelaine blanche, émail, plâtre, etc. La plupart des matériaux mentionnés ci-dessus sont des composés polymères ou des isolants. Par exemple, la résistivité du corps en plexiglas est de 1012 ~ 1014Ωcm, et la résistivité du corps en polyéthylène est de 1013 ~ 1015ncm. Par conséquent, la conductivité est relativement faible. L'électricité statique pour une raison quelconque n'est pas facile de fuir vers la terre à travers eux, ce qui provoque l'accumulation d'électricité statique.
2, électricité statique du corps humain
Les différentes actions et allers-retours des opérateurs dans la salle blanche, les semelles des chaussures et le sol sont constamment en contact étroit et en séparation, et diverses parties du corps humain sont également actives et frottantes. Qu'il s'agisse de marche rapide, de marche lente ou de trot, de l'électricité statique sera générée, ce que l'on appelle la charge de marche; le corps humain se lève après avoir bougé. , Les vêtements de travail portés par le corps humain et la surface de la chaise sont séparés après avoir été en contact avec la surface de la chaise, et de l'électricité statique sera également générée. Si la tension électrostatique du corps humain ne peut pas être éliminée et que la puce IC est touchée, cela peut provoquer une panne IC sans le savoir.
3. Électricité statique causée par la climatisation et la purification de l'air
Étant donné que la production de circuits intégrés nécessite de 45 à 55% d'humidité relative, la climatisation doit être mise en œuvre et la purification de l'air doit être effectuée en même temps. L'air déshumidifié est envoyé vers la salle blanche via le filtre primaire, le filtre à efficacité moyenne, le filtre à haute efficacité et le conduit d'air. Généralement, la vitesse du vent du conduit d'air principal est de 8 ~ 10 m / s, et la paroi intérieure du conduit d'air est peinte. Lorsque l'air sec et le conduit d'air, l'air sec et le filtre se déplacent l'un par rapport à l'autre, de l'électricité statique sera générée. Il est à noter que l'électricité statique est plus sensible à l'humidité. De plus, le transport de produits semi-finis et de produits IC générera de l'électricité statique pendant l'emballage et le transport, qui est l'un des facteurs de l'électricité statique.
Deuxièmement, l'électricité statique est très nocive pour IC. D'une manière générale, l'électricité statique présente les caractéristiques d'un potentiel élevé et d'un champ électrique puissant. Dans le processus de charge et de décharge électrostatiques, une décharge transitoire à courant élevé et une impulsion électromagnétique (EMP) se forment parfois, générant des champs de rayonnement électromagnétique à large spectre. De plus, par rapport à l'énergie électrique conventionnelle, l'énergie électrostatique est relativement faible. Dans le processus naturel d'électrification-décharge, les paramètres de décharge électrostatique (ESD) sont incontrôlables et il s'agit d'un processus aléatoire difficile à répéter. Par conséquent, son rôle est souvent affecté par les personnes. Ignoré. Surtout dans le domaine de la technologie microélectronique, le tort qu'elle nous cause est étonnant. Selon les rapports, la perte économique directe causée par l'électricité statique peut atteindre plusieurs centaines de millions de yuans chaque année. Les méfaits de l'électricité statique sont devenus un obstacle majeur au développement de l'industrie de la microélectronique.
Dans l'atelier de production de dispositifs semi-conducteurs, en raison de l'adsorption de poussière sur la puce, le rendement des circuits intégrés, en particulier des circuits intégrés à très grande échelle (VLSI), sera considérablement réduit. Les opérateurs de l'atelier de production IC portent des combinaisons propres. Si le corps humain est chargé d'électricité statique, il est facile d'absorber la poussière et la saleté. Si ces poussières et saletés sont amenées sur le site d'exploitation, cela affectera la qualité du produit, détériorera les performances du produit et réduira considérablement l'Ic. Rendement. Si le rayon des particules de poussière adsorbées est supérieur à 100 µm et la largeur de ligne est d'environ 100 µm, lorsque l'épaisseur du film est inférieure à 50 µm, le produit est le plus susceptible d'être mis au rebut.